半導体評価技術

著者

• 河東田, 隆 カトウダ, タカシ
• 菅野, 卓雄 スガノ, タクオ
• 奥村, 次徳 オクムラ, ツグノリ

書誌事項

半導体評価技術

河東田隆編著 ; 奥村次徳 [ほか] 執筆

（集積回路プロセス技術シリーズ）

産業図書, 1989.2

タイトル読み

ハンドウタイ ヒョウカ ギジュツ

内容説明・目次

目次

• １　半導体デバイスプロセスと評価
• ２　半導体結晶の不完全性と評価
• ３　評価の目的と評価技術の選択
• ４　評価のための基礎技術
• ５　顕微鏡・電子線およびＸ線用いた構造評価技術
• ６　電気的評価技術
• ７　光学的評価技術
• ８　機器分析

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN03233656
• ISBN:
  • 478285627X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: viii, 330p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 半導体
  • NDLSH : 半導体
• 親書誌ID:
  • BN00597860