先端センシング技術
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先端センシング技術
計測自動制御学会, 1988.12
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センタン センシング ギジュツ
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参考文献: p183-191
Description and Table of Contents
Description
本書はセンサ自体はブラックボックスとして取り扱って知能化、多次元化の技術、さらには今後の発展が期待されるあいまい量のセンシング技術の現状、センサの高機能化に欠かせない半導体を中心とした超小型デバイスさらにセンシングの対象分野を広げる新材料の開発状況、最近注目を浴びているナノメートル計測における超高感度化や自動車センサにおける高信頼化など先端センシングのための重要技術をまとめたものである。
Table of Contents
- 第1章 概論
- 第2章 センサの知能化
- 第3章 測長センサ技術の超高感度化
- 第4章 多次元化
- 第5章 センサの超小型化—サブミクロンからサブナノセンサへ
- 第6章 センシング用新材料
- 第7章 センシング技術の高信頼化—自動車用センサを中心に
- 第8章 あいまい量のセンシング技術
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