書誌事項

ULSIのはなし

相良岩男著

(Science and technology)

日刊工業新聞社, 1991.8

タイトル読み

ULSI ノ ハナシ

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内容説明・目次

目次

  • 第1章 ULSIの素子構造
  • 第2章 ULSIウエファ・プロセス
  • 第3章 ULSIの応用製品

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BN06797374
  • ISBN
    • 4526029807
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    188p
  • 大きさ
    19cm
  • 分類
  • 件名
  • 親書誌ID
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