薄膜

著者

• 権藤, 靖夫 ゴンドウ, ヤスオ
• 末澤, 慶孝 スエザワ, ヨシタカ

書誌事項

薄膜

権藤靖夫責任編集

（実験物理学講座 / 近角聡信 [ほか] 企画編集, 8）

共立出版, 1992.9

タイトル読み

ハクマク

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• 実験物理学講座

  8 1992

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

文献: 各章末

執筆者: 末澤慶孝ほか

内容説明・目次

目次

• １　薄膜製作技術（真空蒸着法；プラズマやイオンを用いた成膜法；スパッタ法；化学的方法）
• ２　薄膜（導電体薄膜；誘電体薄膜；半導体薄膜；磁性薄膜；超伝導薄膜；人工格子膜；薄膜製作技術補遺）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN07958297
• ISBN:
  • 432003063X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: x, 418p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 541.66
  • NDC8 : 549.8
  • NDC8 : 420.72
• 件名:
  • NDLSH : 物理学 -- 実験
  • NDLSH : 薄膜
• 親書誌ID:
  • BN00118356