生地 文也 Shoji F.

論文一覧:  54件中 1-20 を表示

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  • 熱電子励起低圧柱状プラズマ下の基板上シースに於いて成長する炭素粒子の温度と相状態

    長井 達三 , 内藤 正路 , 生地 文也

    九州共立大学総合研究所紀要 = Journal of Kyushu Kyoritsu University Research Center (8), 69-75, 2015-03

  • 酵素ガス雰囲気内で斜め蒸着法で形成したチタン酸化薄膜の研究(3)色素増感型太陽電池の開発

    能智 紀台 , 横野 照尚 , 生地 文也 [他]

    九州共立大学総合研究所紀要 -(5), 51-54, 2012-03

  • 酸素ガス雰囲気内の斜め蒸着法で形成したチタン酸化薄膜の研究--結晶学的性質と光触媒効果

    能智 紀台 , 横野 照尚 , 生地 文也 [他]

    九州共立大学総合研究所紀要 (3), 51-54, 2010-03

  • 酸素ガス雰囲気内で電子ビーム蒸着法で形成したチタン酸化薄膜の研究--結晶学性質と光触媒効果

    能智 紀台 , 生地 文也

    九州共立大学総合研究所紀要 (2), 95-98, 2009-04

  • SiC(0001)表面上での自己組織的カーボンナノチューブ形成に関する研究

    米久保 喜彦 , 上田 大志 , 山内 貴志 [他] , 碇 智徳 , 内藤 正路 , 西垣 敏 , 大門 秀朗 , 生地 文也

    We have investigated the formation of carbon nanotubes (CNTs) by the SiC surface decomposition method using transmission electron microscopy. When the SiC specimen was annealed at 1250<sup>o< …

    表面科学 = Journal of The Surface Science Society of Japan 29(7), 418-420, 2008-07-10

    J-STAGE 参考文献9件

  • SiC(0001)-(3×3)表面への銅フタロシアニン吸着の走査トンネル顕微鏡観察

    田中 圭介 , 碇 智徳 , 内藤 正路 [他] , 西垣 敏 , 生地 文也

      We investigated the adsorption process of copper phthalocyanine (CuPc) on the clean and the hydrogen terminated 6H-SiC(0001)-(3×3) surfaces using scanning tunneling microscopy (STM), X-ray photoelec …

    真空 51(3), 124-127, 2008-03-20

    J-STAGE 参考文献8件

  • 冷間圧延ステンレス鋼板の高光沢表面形成技術に関する研究

    生田 宏 , 山本 普康 , 生地 文也

    The experiments for cold rolling of stainless steel sheets were made in order to clarify the effect of methods of roll polishing and surface roughness of roll on the surface characteristics of rolled …

    九州共立大学総合研究所紀要 1, 39-44, 2008-02

    CiNii PDF - オープンアクセス 

  • 高導電性透明酸化物薄膜の作製に関する研究

    河野 昭彦 , 能智 紀台 , 生地 文也

    We have investigated the electrical properties of ITO films fabricated by a hot-cathode plasma sputtering method. Low resistivity films of 9.8×10^<-5> Q cm were obtained on glass substrates heat …

    九州共立大学総合研究所紀要 1, 49-54, 2008-02

    CiNii PDF - オープンアクセス 

  • 軸方向等の研磨ロールで冷間圧延したステンレス鋼板の表面性状(加工・加工熱処理)

    山本 普康 , 生田 宏 , 生地 文也

    The experiments for cold rolling of stainless steel sheets were made in order to clarify the effect of methods of roll polishing and surface roughness of rolls on the surface characteristics of rolled …

    鐵と鋼 : 日本鐡鋼協會々誌 93(11), 687-692, 2007-11-01

    CiNii PDF - オープンアクセス  J-STAGE 被引用文献2件

  • 熱電子励起プラズマスパッタ法による低比抵抗ITO膜形成とそのメカニズム

    河野 昭彦 , 生地 文也

    熱電子励起プラズマスパッタ法で作製した非加熱ガラス基板上および加熱(260℃)ガラス基板上のITO膜の電気特性を膜厚の関数として調べた.加熱基板上において,2.1×10^<21>cm^<-3>の高いキャリア密度による9.7×10^<-5>Ωcmの低比抵抗ITO膜が得られた.多くの酸素空孔を含む結晶性の初期成長層が,厚膜における効果的な酸素空孔形成と,それによる高 …

    電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 107(227), 25-30, 2007-09-14

    参考文献10件

  • 熱電子励起プラズマスパッタ法による低比抵抗ITO膜形成とそのメカニズム

    河野 昭彦 , 生地 文也

    熱電子励起プラズマスパッタ法で作製した非加熱ガラス基板上および加熱(260℃)ガラス基板上のITO膜の電気特性を膜厚の関数として調べた.加熱基板上において,2.1×10^<21>cm^3の高いキャリア密度による9.7×10^<-5>Ωcmの低比抵抗ITO膜が得られた.多くの酸素空孔を含む結晶性の初期成長層が,厚膜における効果的な酸素空孔形成と,それによる高いキャリア密度をも …

    電子情報通信学会技術研究報告. OME, 有機エレクトロニクス 107(228), 25-30, 2007-09-14

    参考文献10件

  • Biナノワイヤ形成Si(100)表面への銅フタロシアニン吸着の走査トンネル顕微鏡観察

    上代 祐藏 , 吉岩 由人 , 塗木 貴彦 [他] , 中村 慎太郎 , 碇 智徳 , 内藤 正路 , 西垣 敏 , 生地 文也

      The reaction dynamics of the Bi-line structure (BLS) with copper-phthalocyanine (CuPc) molecules have been investigated by scanning tunneling microscopy. Bi atoms deposited on the Si(100) surface at …

    真空 50(3), 196-198, 2007-03-20

    J-STAGE 参考文献9件

  • 低比抵抗ITO薄膜形成に関わる界面テンプレート層の存在について

    河野 昭彦 , 生地 文也

    プラズマスパッタ法によるガラス基板上のITO膜の電気特性に及ぼす基板温度の影響を調べた.厚い膜厚領域においては,基板を250℃程度に加熱した場合,無加熱の場合と比較して,キャリア密度が約3倍増大し比抵抗値が9.8×10^<-5>Ωcmまで減少していることがわかった.また,基板加熱の有無に関わらず,薄い膜厚領域にキャリアの異常な生成過程が存在することが明らかになった.膜厚の関数としたキャ …

    電子情報通信学会技術研究報告. OME, 有機エレクトロニクス 106(228), 43-47, 2006-09-01

    参考文献16件

  • 微小領域の帯電を検出するセンサーの開発 : フェライト基板上におけるTi酸化膜の誘電率の検討

    能智 紀台 , 宮里 淳 , 生地 文也 [他] , 野澤 忠生

    当グループは,微小領域(代表例として液晶を構成するTFT小素子)の帯電を検出するセンサーの開発を行っている.センサーは,フェライト基板上に積層したTi酸化膜を誘電体層とし,等価回路的には薄膜コンデンサーと同等な構造である.このTi酸化膜は,メタルのTiをターゲットし,Rfマグネトロンスパッタ法を酸素雰囲気内で適用して形成される.本研究では,Ti酸化膜の成膜条件およびアニール条件と,結晶学的性質及び …

    電子情報通信学会技術研究報告. OME, 有機エレクトロニクス 106(228), 37-41, 2006-09-01

    参考文献3件

  • 低比抵抗ITO薄膜形成に関わる界面テンプレート層の存在について

    河野 昭彦 , 生地 文也

    プラズマスパッタ法によるガラス基板上のITO膜の電気特性に及ぼす基板温度の影響を調べた.厚い膜厚領域においては,基板を250℃程度に加熱した場合,無加熱の場合と比較して,キャリア密度が約3倍増大し比抵抗値が9.8×10^<-5>Ωcmまで減少していることがわかった.また,基板加熱の有無に関わらず,薄い膜厚領域にキャリアの異常な生成過程が存在することが明らかになった.膜厚の関数としたキャ …

    電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 106(227), 43-47, 2006-09-01

    参考文献16件

  • 微小領域の帯電を検出するセンサーの開発 : フェライト基板上におけるTi酸化膜の誘電率の検討

    能智 紀台 , 宮里 淳 , 生地 文也 [他] , 野澤 忠生

    当グループは,微小領域(代表例として液晶を構成するTFT小素子)の帯電を検出するセンサーの開発を行っている.センサーは,フェライト基板上に積層したTi酸化膜を誘電体層とし,等価回路的には薄膜コンデンサーと同等な構造である.このTi酸化膜は,メタルのTiをターゲットし,Rfマグネトロンスパッタ法を酸素雰囲気内で適用して形成される.本研究では,Ti酸化膜の成膜条件およびアニール条件と,結晶学的性質及び …

    電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 106(227), 37-41, 2006-09-01

    参考文献3件

  • 異常な電子キャリア生成による低抵抗ITO薄膜

    河野 昭彦 , 羅 蘇寧 , 村上 達大 [他] , 生地 文也

    プラズマスパッタ成膜法によって、加熱したガラス基板上にITO膜を作成し、膜の電気特性を膜厚の関数として調べた。その結果、膜厚が200nm以上の場合において、抵抗率が約1×10^<-4>Ωcmの良好な導電性を有する膜の形成に成功し、ITO膜の低抵抗化を実現した。低抵抗化が実現した要因は、膜のキャリア密度の大幅な増大である。また、無加熱基板上に作成した膜と加熱基板上に作成した膜の電気特性を …

    電子情報通信学会技術研究報告. OME, 有機エレクトロニクス 106(7), 45-49, 2006-04-10

    参考文献8件

  • 異常な電子キャリア生成による低抵抗ITO薄膜

    河野 昭彦 , 羅 蘇寧 , 村上 達大 [他] , 生地 文也

    プラズマスパッタ成膜法によって、加熱したガラス基板上にITO膜を作成し、膜の電気特性を膜厚の関数として調べた。その結果、膜厚が200nm以上の場合において、抵抗率が約1×10^<-4>Ωcmの良好な導電性を有する膜の形成に成功し、ITO膜の低抵抗化を実現した。低抵抗化が実現した要因は、膜のキャリア密度の大幅な増大である。また、無加熱基板上に作成した膜と加熱基板上に作成した膜の電気特性を …

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 106(6), 45-49, 2006-04-10

    参考文献8件

  • 異常な電子キャリア生成による低抵抗ITO薄膜

    河野 昭彦 , 羅 蘇寧 , 村上 達大 [他] , 生地 文也

    プラズマスパッタ成膜法によって、加熱したガラス基板上にITO膜を作成し、膜の電気特性を膜厚の関数として調べた。その結果、膜厚が200nm以上の場合において、抵抗率が約1×10^<-4>Ωcmの良好な導電性を有する膜の形成に成功し、ITO膜の低抵抗化を実現した。低抵抗化が実現した要因は、膜のキャリア密度の大幅な増大である。また、無加熱基板上に作成した膜と加熱基板上に作成した膜の電気特性を …

    電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 106(5), 45-49, 2006-04-10

    参考文献8件 被引用文献2件

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