石内 秀美 ISHIUCHI Hidemi

ID:9000045428967

(株)東芝セミコンダクター&ストレージ社 Semiconductor & Storage Products Company, Toshiba Corporation (2012年 CiNii収録論文より)

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論文一覧:  1件中 1-1 を表示

  • 国際半導体技術ロードマップから見たCMOS技術動向

    石内 秀美

    ITRS(国際半導体技術ロードマップ)は,世界5極(欧州,日本,韓国,台湾,米国)の半導体工業会(ESIA,JEITA,KSIA,TSIA,SIA)がスポンサーとなって,将来15年にわたる半導体技術動向とそれを実現するための技術課題をそれぞれの分野の専門家がまとめたものである.ITRSの2011年版(最新版)から見たCMOS技術のトレンドを紹介する.素子寸法の微細化を続けるためにリソグラフィーをは …

    電子情報通信学会誌 = The journal of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers 95(11), 954-959, 2012-11-01

    参考文献2件 被引用文献1件

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