板東 竜也 BANDO Tatsuya

ID:9000045821642

広島大学大学院先端物質科学研究科 (2010年 CiNii収録論文より)

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  • Ge MISおよび Ge/Metal 接合の化学結合状態および電気的特性評価

    藤岡 知宏 , 板東 竜也 , 大田 晃生 [他] , 村上 秀樹 , 東 清一郎 , 宮崎 誠一

    Ge/金属ショツトキ接合界面で生じる顕著なフェルミレベルピニングに関する知見を得るために、化学溶液洗浄したGe(100)基板および熱酸化GeO_2/Ge上にAlもしくはPt、Auを形成し、Ge表面バンドの曲がり・ポテンシャル変化および接合界面の化学結合状態をX線光電子分光法により評価した。Ge基板上に金属を直接堆積した場合では、金属-Ge結合の形成などGe原子の金属層への拡散が観測された。また、金 …

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 110(90), 27-32, 2010-06-15

    参考文献15件

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