鈴木 学 SUZUKI Manabu

ID:9000046001111

千葉工業大学工学部 Chiba Institute of Technology (2009年 CiNii収録論文より)

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  • フッ素添加ECRスパッタカーボン薄膜の摩擦特性

    鈴木 , 鎌田 智之 , 東峰 裕輔 [他] , 昼間 峻 , 梅村 茂 , 廣野 滋 , 東原 秀和 , 沖野 不二雄 , 服部 義之 , 丹羽 修 , 刀 東風

    筆者らは,ECRスパッタ法によって,導電性と高い耐摩耗性を備えたフッ素添加カーボン薄膜を作製した.このフッ素添加ECRスパッタカーボン薄膜について,AFMによる表面粗さ測定,ボールオンディスク型摩擦試験機による摩擦試験を行った.その結果,表面粗さは無添加ECRスパッタカーボン薄膜と比べて変化はなかった.また,摩擦試験の結果,膜中フッ素濃度の増加に伴い摩擦係数は増加した.

    電子情報通信学会技術研究報告. EMD, 機構デバイス 109(352), 17-20, 2009-12-11

    参考文献4件

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