原 史朗 HARA Shiro

ID:9000300211496

(国研) 産業技術総合研究所 (2015年 CiNii収録論文より)

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  • ミニマルファブにおける固有プロセス技術

    クンプアン ソマワン , 史朗

    1.はじめに ミニマルファブでは,すべての半導体製造装置は新規開発であり,ゼロからモノづくりを行う必要がある。しかも,特集2の「ミニマルファブのライン開発」<sup>(1)</sup>でも述べたように,ミニマルファブでは,300mmの既存システムに対して,装置フットプリントを1/100に,また装置消費

    電気学会誌 135(8), 543-548, 2015

    J-STAGE DOI

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