居村 史人 IMURA Fumito

ID:9000300211498

(国研) 産業技術総合研究所 (2015年 CiNii収録論文より)

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  • ミニマルファブにおける後工程・実装技術

    井上 道弘 , 居村 史人 , 原 史朗

    1.はじめに これまでの半導体産業における巨大投資・巨大工場による大量生産の問題点を解決して,多品種少量生産に柔軟に対応できる半導体生産を目指したミニマルファブ<sup>(1)</sup>の開発を急ピッチで進めている。ミニマルファブの開発では,まずハーフインチサイズのウェーハを用いた前工程用装置と

    電気学会誌 135(8), 554-557, 2015

    J-STAGE

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