原 史朗 HARA Shiro

ID:9000300211501

(国研) 産業技術総合研究所 (2015年 CiNii収録論文より)

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  • ミニマルファブのライン開発

    史朗 , 前川 仁

    1.はじめに ミニマルファブ<sup>(1)</sup>を開発するに当たって,大変重要なことは,装置の規格をそろえること,すなわち標準化にある。一般にどの分野でも標準化が叫ばれるが,その目的は国家間競争というファクタを除けば,開発コストを下げるということが主目的であり,そこにイノベーションの感覚

    電気学会誌 135(8), 538-542, 2015

    J-STAGE DOI

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