渡辺 光徳 WATANABE Mitsunori

ID:9000300216908

株式会社 大阪真空機器製作所 OSAKA VACUUM, LTD. (2015年 CiNii収録論文より)

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論文一覧:  1件中 1-1 を表示

  • ターボ分子ポンプの性能表記に関する考察

    渡辺 光徳 , 藤田 孝一

      Turbomolecular pump is featured by mainly two performance, they are pumping speed (or volume flow rate) and ultimate pressure, which mean how fast and how lower the pressure pump can evacuate a vacu …

    Journal of the Vacuum Society of Japan 58(7), 249-252, 2015

    J-STAGE

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