牧村 哲也 MAKIMURA Tetsuya

ID:9000303161250

筑波大学大学院 数理物質科学研究科 電子・物理工学専攻( 〒305-8573 茨城県つくば市天王台1-1-1) Institute of Applied Physics, University of Tsukuba, 1-1-1 Ten'nodai, Tsukuba, Ibaraki 305-8573 (2010年 CiNii収録論文より)

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  • XUV~X線による材料加工

    牧村 哲也 , 新納 弘之 , 鳥居 周一 , 村上 浩一

    We investigated micromachining using laser plasma XUV light that was generated by irradiating

    レーザー研究 38(12), 957-962, 2010

    J-STAGE

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