柴田 大生 SHIBATA Daiki

ID:9000303987758

岡山県大院 Okayama Prefectural University (2014年 CiNii収録論文より)

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論文一覧:  2件中 1-2 を表示

  • Si酸化膜とSi窒化膜中における金属原子の安定性に関する第一原理解析

    柴田 大生 , 小林 駿介 , 末岡 浩治

    半導体集積回路(LSI)の中にはSi酸化膜/Si基板構造が多く存在する.さらにLSIの微細化,高性能化を目的として,LSI製造工程では様々な金属が用いられ始めている.しかし,意図しない金属汚染はデバイスの信頼性に悪影響を与える.本研究では,SiO_2/Si界面構造モデルを用い,金属原子(Cr,Fe,Ni,Cu,W)の安定性と拡散挙動について第一原理計算により明らかにすることを目的としている,その結 …

    計算力学講演会講演論文集 2014(27), 132-133, 2014-11-22

  • 1705 β-Si_3N_4中の金属原子の安定性に関する第一原理解析

    柴田 大生 , 小林 駿介 , 末岡 浩治

    計算力学講演会講演論文集 2013(26), "1705-1"-"1705-2", 2013-11-02

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