末岡 浩冶 Sueoka Koji

ID:9000303987769

岡山県立大学情報工学部 kayama Prefectural University (2013年 CiNii収録論文より)

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論文一覧:  1件中 1-1 を表示

  • 1709 育成中Si単結晶の点欠陥濃度に与える添加物の影響

    末岡 浩冶 , 神山 栄治

    単結晶SI育成においてp型,n型や電気的中性ドーパントを添加すると,点欠陥,すなわち原子空孔と格子間SI原子の濃度か影響を受けることか報告されている しかし,点欠陥挙動のドーパント種類・濃度依存性に関する実験結果の統一的な説明はこれまで成功していない 本研究では,第一原理計算法を用い,「固液界面から取り込まれたドーパント近傍における点欠陥の形成エネルギ変化」によりドーパント効果の説明を試みた その …

    計算力学講演会講演論文集 2013(26), "1709-1"-"1709-3", 2013-11-02

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