中谷 正憲 NAKATANI Masanori

ID:9000303989048

兵庫県立大学 (2013年 CiNii収録論文より)

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  • OS1203 自立Cu/Al_2O_3積層薄膜の弾性特性評価

    眞田 陽平 , 中谷 正憲 , 原田 泰典

    The Young's modulus of free-standing Cu/Al_2O_3 multilayer thin film was investigated by a method of micro-bending test. The Cu and Al_2O_3 monolayer and Cu/Al_2O_3 multilayer thin film were deposited …

    M&M材料力学カンファレンス 2013, "OS1203-1"-"OS1203-3", 2013-10-12

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