高橋 主人 TAKAHASHI Kazue

ID:9000303991902

大島商船高等専門学校 Oshima College, National Institute Technology (2015年 CiNii収録論文より)

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  • 真空システム

    高橋 主人

      An evacuation process from atmospheric pressure to an extremely low pressure involves four stages: removal of volume gas in a vacuum chamber, outgassing of gas adsorbed on the chamber surface, relea …

    Journal of the Vacuum Society of Japan 58(8), 292-298, 2015

    J-STAGE

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