宍戸 信之 SHISHIDO Nobuyuki

ID:9000304001492

名古屋工業大学:JST (2012年 CiNii収録論文より)

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論文一覧:  1件中 1-1 を表示

  • OS1905 銅配線の弾塑性特性を導入した局所界面付着強度評価手法の開発

    小岩 康三 , 大宮 正毅 , 宍戸 信之 , 神谷 庄司 , 佐藤 尚 , 西田 政弘 , 鈴木 貴志 , 中村 友二 , 鈴木 俊明 , 野久尾 毅

    Crystal orientation of Cu has a significant impact on the local interface adhesion strength between Cu/SiN layers in micro wirings in LSI. Using a finite element model with crystal plasticity, crystal …

    M&M材料力学カンファレンス 2012, "OS1905-1"-"OS1905-3", 2012-09-22

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