土屋 敏章
日本信頼性学会誌 信頼性
23
(2),
229-241,
2001
...薄膜SOI(Silicon on insulator)を用いたCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)LSIが本格的に導入されようとしている.従来のバルクSiデバイスのスケーリングで得られる以上の高速化と低消費電力化が達成できるからである.本文では, まず, SOI CMOS構造の特徴, および, SOI CMOSデバイスの特徴について述べ, SOI...
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