羽田野 剛司, 野村 明弘, 吉田 昌義, 中島 安理, 芝原 健太郎, 横田 新
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス
98
(30),
15-19,
1998-04-23
...このトランジスタはLDD(Lightly Doped Drain)MOSトランジスタ構造をわずかに変化され、かつ二つのゲートを持つ構造である。2つのゲート電圧を制御することにより、サイドウォールスペーサ下部に障壁が形成される。このトランジスタが室温で動作可能となるためには、トンネル電流が熱励起電流より十分大きくなる障壁の形成が必要である。...
参考文献8件