松尾 直人, 藤原 裕章, 三好 正毅, 小柳 剛
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス
95
(399),
13-19,
1995-12-07
減圧化学気相蒸着法により、不均一結晶粒径をもつ凹凸多結晶Si蓄積電極を作製し、その上に酸化・窒化・酸化複合膜、多結晶Siプレート電極を形成し、電流・電圧特性を調べた。漏洩電流が、プレート電極負電圧印加で、平板型のSTCと比較して、容量面積の比率以上に増加する。この現象を、隣接するグレイン間に形成されるプレート電極エッジ部分において電界集中を生じ、それが直接トンネリングを誘起すると仮定して理論解析…
参考文献16件