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  • ナノスケール MOS デバイスにおける界面物性の揺らぎ

    土屋 敏章 応用物理 78 (9), 868-872, 2009-09-10

    ...<p>MOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistors)における Random Telegraph Signal と 1/f 雑音およびチャージポンピング(CP)特性の物理的背景について概説し,ナノスケール MOSFET における界面物性揺らぎに関する著者らの最近の研究を紹介する.デバイス特性への界面物性揺らぎの影響を把握するためには...

    DOI Web Site 参考文献25件

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