松尾 直人, 藤原 裕章, 三好 正毅
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス
96
(395),
69-76,
1996-12-05
...った処,測定結果との厳密な一致は見られなかった.本論文では,第1に,WKB法において,フェルミエネルギーを考慮して,実測値とのフィティングを行った.低電圧印加領域において,漏洩電流増加率の計算結果は測定結果に一致した.多結晶Siの様に,フェルミエネルギーの小さい電極を用いる場合において,その効果を考慮する必要のある事が解った.第2に,シュレーディンガー方程式の数値解法により,電界集中下における波動関数...
参考文献20件