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  • 森 勇蔵 ID: 9000007997291

    Articles in CiNii:2

    • 精密科学専攻(精密工学科)の歩み--大阪大学・超精密加工研究拠点(COE)の形成に至るまで (1996)
    • 文部省COE「大阪大学・超精密加工研究拠点」の形成--完全表面の創成をめざして (特集 プロジェクト研究) (1999)
  • 森 勇藏 ID: 9000007997599

    Articles in CiNii:2

    • 海外交流 完全表面創成のための原子論的生産技術と超精密科学に関するCOE国際シンポジウム報告 (2001)
    • 夢はバラ色 超精密科学研究センターの開設 (2002)
  • 森 勇蔵 ID: 9000009290810

    Articles in CiNii:1

    • 文部省・COE「大阪大学・超精密加工研究拠点」の形成--ウルトラクリ-ンル-ム完成 (1997)
  • 森 勇藏 ID: 9000009818710

    Articles in CiNii:1

    • 私の発言 もの作りの手法は,ものができて初めて脚光を浴びる。 (2004)
  • 森 勇藏 ID: 9000019243307

    大阪大学 (2009 from CiNii)

    Articles in CiNii:1

    • 精密工学会創立75周年に寄せて : 私にとっての精密工学会 (2009)
  • 森 勇蔵 ID: 9000238877741

    Articles in CiNii:1

    • EEMの原理と応用 (1986)
  • 森 勇蔵 ID: 9000254270289

    正会員 大阪大学工学部 (1985 from CiNii)

    Articles in CiNii:1

    • Special issue on approach to the technological limits. 1. scale. Atomic order machining. (1985)
  • 森 勇蔵 ID: 9000254750995

    正会員 大阪大学工学部 (1980 from CiNii)

    Articles in CiNii:1

    • Elastic Emission Machingとその表面 (1980)
  • 森 勇蔵 ID: 9000258635019

    大阪大学 大学院工学研究科 (2003 from CiNii)

    Articles in CiNii:1

    • A New Designed Ultra-High Precision Profiler for SR Mirrors (2003)
  • 森 勇蔵 ID: 9000258635896

    大阪大学 大学院工学研究科精密科学専攻 (2003 from CiNii)

    Articles in CiNii:1

    • Deposition of Silicon Nitride Film by Atmospheric Pressure Plasma CVD-Effect of H2- (2003)
  • 森 勇藏 ID: 9000258637239

    大阪大学 大学院工学研究科 (2004 from CiNii)

    Articles in CiNii:1

    • Hige-Rate Deposition of SiNx films by Atmospheric Pressure Plasma CVD -Optical Emission Spectroscopy of the Deposition Plasma (II)- (2004)
  • 森 勇藏 ID: 9000258637262

    大阪大学 大学院工学研究科 (2004 from CiNii)

    Articles in CiNii:1

    • Evaluation of Nano Structure on Si Wafer Surface by Etching using Wet Cleaning (2004)
  • 森 勇蔵 ID: 9000258639635

    大阪大学 大学院工学研究科 精密科学専攻 (2004 from CiNii)

    Articles in CiNii:1

    • High-rate Deposition of SiNx Films by Atmospheric Pressure Plasma CVD -Optical Emission Spectroscopy of the Deposition Plasma- (2004)
  • 森 勇蔵 ID: 9000283806092

    大阪大学 大学院工学研究科 附属超精密科学研究センター (2003 from CiNii)

    Articles in CiNii:1

    • Machining of Ultra High Frequency Quartz Resonator with Plasma CVM (2003)
  • 森 勇藏 ID: 9000283806798

    大阪大学 大学院工学研究科 超精密科学研究センター (2003 from CiNii)

    Articles in CiNii:1

    • The Evaluation Method for Comparison Measuring Results Using PSD The Measuring Method for Microroughness Using Light Scattering Method (2003)
  • 森 勇藏 ID: 9000283813129

    大阪大学 工学研究科精密科学専攻 (2007 from CiNii)

    Articles in CiNii:1

    • The parabolic mirror measurement by use of the surface gradient integrated measuring method (2007)
  • 森 勇藏 ID: 9000368413712

    Articles in CiNii:1

    • 第一原理分子動力学シミュレーションコードのチューニング (1994)
  • MORI Yuzo ID: 1000000029125

    Osaka University (2012 from CiNii)

    Articles in CiNii:278

    • レーザ光散乱によるSiウェーハ表面の微粒子計測 (1995)
    • 大気圧RFプラズマの特性 (1995)
    • プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)における加工現象の第一原理分子動力学シミュレーション(第5報)-Si表面とハロゲン原子の相互作用の解析(その3)- (1995)
  • MORI Yuzo ID: 9000002959638

    大阪大学工学部 (1986 from CiNii)

    Articles in CiNii:1

    • Outlook on the Advanced Mechanical Engineering (1986)
  • MORI Yuzo ID: 9000020096668

    大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター (2004 from CiNii)

    Articles in CiNii:1

    • Flattening of Si (001) Surface by EEM (Elastic Emission Machining):—Atomic Structure Identification of Processed Surface— (2004)
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