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  • KAWAI Ryousei ID: 9000003137046

    (株)日立製作所 (2004 from CiNii)

    Articles in CiNii:4

    • STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発(第2報):気孔制御による低スクラッチ化 (2002)
    • STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発(第3報):加工均一性の検討 (2002)
    • STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発 : 砥粒の選定 (2001)
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