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  • 鎌田 尚之 ID: 9000000108115

    東海大 (工) (1996 from CiNii)

    Articles in CiNii:6

    • CHC1F_2を用いた熱酸化シリコン膜のドライエッチング (1995)
    • 透明SiO_2膜の室温形成 -分解光源の違いによる膜の電気的特性の比較- (1996)
    • エキシマレーザーによるSiCのレジストレスエッチング[II] -エッチヤント圧力依存性- (1996)
  • 鎌田 尚之 ID: 9000253694461

    東海大工 (1994 from CiNii)

    Articles in CiNii:1

    • レーザープロセッシング (1994)
  • 鎌田 尚之 ID: 9000253695370

    東海大工 (1995 from CiNii)

    Articles in CiNii:1

    • レーザープロセッシング (1995)
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