中村 俊夫
,
南 雅代
,
小田 寛貴
,
池田 晃子
,
山根 雅子
,
西田 真砂美
,
若杉 勇輝
,
佐藤 里名
,
澤田 陸
,
酢屋 徳啓
,
北川 浩之
,
Nakamura Toshio
,
Minami Masayo
,
Oda Hirotaka
,
Ikeda Akiko
,
Yamane Masako
,
Nishida Masami
,
Wakasugi Yuki
,
Sato Rina
,
Sawada Hitoshi
,
Suya Noriyoshi
,
Kitagawa Hiroyuki
… その後、target wheelの回転基準位置の制御を行うtelemeter cardの不具合が見つかり、これを交換した;(3)イオン源のダストが光センサーシステムの光を遮り、ターゲットの位置決めが出来なくなった。 … この、位置決めを正しく行うと、直径2mmのターゲット表面に9点のスパッター位置を設定することが出来る。 …
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