Manufacturability issues for application of silicides in 0.25 μm CMOS process and beyond
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収録刊行物
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- Mat. Res. Soc. Symp. Proc.
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Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 402 221-, 1996
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1573950398812238336
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- NII論文ID
- 10000068369
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- NII書誌ID
- AA10616881
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- データソース種別
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- CiNii Articles