半導体材料の寿命関係　マイクロエレクトロニクス材料における劣化現象

• 大野 清伍

  東京電機大学工学部

• 野田 克史

  沖エンジニアリング (株)

書誌事項

タイトル別名

• Life of Semiconductor. Degradation Phenomena in Microelectronic Materials.

収録刊行物

• マテリアルライフ

  マテリアルライフ 8 (2), 66-71, 1996

  マテリアルライフ学会

詳細情報

• CRID: 1390001204340311168
• NII論文ID: 10002002710
• NII書誌ID: AN10530609
• DOI: 10.11338/mls1989.8.66
• ISSN: 21857024
• ISSN: 09153594
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles