反応性スパッタリングによるセラミックス薄膜の作製

書誌事項

タイトル別名
  • ハンノウセイ スパッタリング ニ ヨル セラミックス ハクマク ノ サクセイ
  • 特集1 スパッタリングによる機能性セラミックス薄膜
  • トクシュウ 1 スパッタリング ニ ヨル キノウセイ セラミックス ハクマク

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抄録

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

収録刊行物

参考文献 (16)*注記

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詳細情報

  • CRID
    1520009407426676608
  • NII論文ID
    10002017276
  • NII書誌ID
    AN00131516
  • ISSN
    0009031X
  • NDL書誌ID
    4575323
  • Web Site
    https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4575323
  • 本文言語コード
    ja
  • NDL 雑誌分類
    • ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
  • データソース種別
    • NDL
    • CiNii Articles

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