粒子の直径が半導体製品歩留りに及ぼす影響(デザインルール依存性)

• 北島 洋

Bibliographic Information

Other Title

• リュウシ ノ チョッケイ ガ ハンドウタイ セイヒン ブドマリ ニ オヨボス

Abstract

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

Journal

• 空気清浄 : コンタミネーションコントロール

  空気清浄 : コンタミネーションコントロール 35 (2), 75-84, 1997-07

  東京 : 日本空気清浄協会

Details

• CRID: 1522262178400638208
• NII Article ID: 10002039948
• NII Book ID: AN00065670
• ISSN: 00235032
• NDL BIB ID: 4274948
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4274948
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN1(科学技術--建設工学・建設業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles