軟Ｘ線オプティックス　原子層堆積／成長法による軟Ｘ線多層膜ミラーの新展開

• 熊谷 寛

  理化学研究所レーザー物理工学研究室

書誌事項

タイトル別名

• Soft X-Ray Optics. Recent Progress in Soft X-Ray Multilayer Mirrors through Atomic Layer Deposition/Epitaxy Methods.
• ゲンシソウ タイセキ セイチョウホウ ニヨル ナンXセン タソウ マク ミラー

抄録

A new approach to the fabrication of multilayer mirrors on an atomic scale at soft x-ray wavelengths is desired to overcome serious problems regarding scattering loss at the rough surface and interface of the multilayer. In this review, recent progress regarding novel approaches utilizing atomic layer deposition and atomic layer epitaxy to the fabrication of multilayer structures for soft x-ray wavelengths is detailed. These novel approaches are expected to solve the above-mentioned problems and take the place of conventional sputtering methods because of their control performance of the surface on an atomic scale through their self-limiting functions.

収録刊行物

• レーザー研究

  レーザー研究 25 (5), 355-361, 1997

  一般社団法人 レーザー学会

キーワード

• Soft x-ray mirror
• Water window
• Atomic layer deposition
• Atomic layer epitaxy

詳細情報

• CRID: 1390001204646500864
• NII論文ID: 10003572022
• NII論文ID: 10002043744
• NII書誌ID: AN00255326
• DOI: 10.2184/lsj.25.355
• ISSN: 13496603
• ISSN: 03870200
• NDL書誌ID: 4227874
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4227874
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/lsj1973/25/5/25_5_355/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可