湿式法による化合物薄膜の作製・構造と物性  電解法によるECD用イリジウム酸化物薄膜の作製

書誌事項

タイトル別名
  • Preparation of Thin-Films by Wet Method-Their Structure and Properties. Preparation of Iridium Oxide Films for ECD by Electrodeposition.
  • デンカイホウ ニヨル ECDヨウ イリジウム サンカブツ ハクマク ノ サクセ

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 49 (1), 20-24, 1998

    一般社団法人 表面技術協会

参考文献 (14)*注記

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