表面分析のケーススタディ(5)高分解能SEMによる薄膜表面構造の最適な撮影法

• 多持 隆一郎

書誌事項

タイトル別名

• ヒョウメン ブンセキ ノ ケース スタディ 5 コウブンカイノウ SEM ニヨ

収録刊行物

• 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan

  表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan 49 (5), 482-486, 1998-05

  東京 : 表面技術協会

詳細情報

• CRID: 1520572357571084160
• NII論文ID: 10002109262
• NII書誌ID: AN1005202X
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 4481826
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4481826
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles