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- 藤田 博之
- 東京大学 生産技術研究所
書誌事項
- タイトル別名
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- Making Three-Dimensional Micromachines. Fabrication Technologies for High-Aspect-Ratio Microstructure.
- リッタイテキ ナ マイクロマシン オ ツクル コウ アスペクトヒ マイクロ コ
- Fabrication Technologies for High-Aspect-Ratio Microstructure
- 高アスペクト比マイクロ構造製作法
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収録刊行物
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- 表面技術
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表面技術 49 (8), 844-848, 1998
一般社団法人 表面技術協会
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詳細情報
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- CRID
- 1390282679091907584
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- NII論文ID
- 10002110178
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- NII書誌ID
- AN1005202X
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- ISSN
- 18843409
- 09151869
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- NDL書誌ID
- 4546125
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles