立体的なマイクロマシンを作る  高アスペクト比マイクロ構造製作法

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タイトル別名
  • Making Three-Dimensional Micromachines. Fabrication Technologies for High-Aspect-Ratio Microstructure.
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  • Fabrication Technologies for High-Aspect-Ratio Microstructure
  • 高アスペクト比マイクロ構造製作法

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 49 (8), 844-848, 1998

    一般社団法人 表面技術協会

参考文献 (21)*注記

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