スーパークリーンルーム

• 鈴木 道夫

• 山崎 俊彦

Bibliographic Information

Other Title

• スーパー クリーン ルーム
• 特集 半導体工場・製薬工場における特殊設備
• トクシュウ ハンドウタイ コウジョウ セイヤク コウジョウ ニ オケル トクシ

Abstract

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

Journal

• 空気調和・衛生工学

  空気調和・衛生工学 71 (7), 579-586, 1997-07

  東京 : 空気調和・衛生工学会

Details

• CRID: 1520572359129333248
• NII Article ID: 10002157888
• NII Book ID: AN00065681
• ISSN: 03864081
• NDL BIB ID: 4247359
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4247359
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN1(科学技術--建設工学・建設業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles