超先端電子技術開発機構におけるレーザー計測法によるエッチングプラズマ中の解離化学種解析

• 板橋 直志

• 林 久貴

• 辰巳 哲也

書誌事項

タイトル別名

• チョウ センタン デンシ ギジュツ カイハツ キコウ ニ オケル レーザー ケ
• レーザーおよび放射光の半導体プロセス分野への応用特集号
• レーザー オヨビ ホウシャコウ ノ ハンドウタイ プロセス ブンヤ エ ノ オ

収録刊行物

• レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編

  レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編 26 (6), 426-432, 1998-06

  吹田 : レーザー学会

詳細情報

• CRID: 1520853835215823104
• NII論文ID: 10002249527
• NII書誌ID: AN00255326
• ISSN: 03870200
• NDL書誌ID: 4511844
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4511844
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles