熱フィラメントＣＶＤ法により合成されたダイヤモンド薄膜への紫外線照射による酸化の効果

• 石川 豊

  日本工業大学工学部

• 吉見 英人

  日本工業大学工学部

• 広瀬 洋一

  東海大学工学部

書誌事項

タイトル別名

• Effect of Oxidation by UV-Irradiation on Diamond Thin Films Synthesized by Hot-Filament CVD.

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 47 (1), 74-75, 1996

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Diamond Film
• Graphite
• UV Light
• Oxidation
• Etching

詳細情報

• CRID: 1390001204115659904
• NII論文ID: 10002255505
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.47.74
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles