皮膜構造制御　新しい機能の発現をめざして　形状記憶合金薄膜

• 石田 章

  金属材料技術研究所

• 宮崎 修一

  筑波大学物質工学系

書誌事項

タイトル別名

• Control of Film-Structure-For Development of New Function. Shape Memory Thin Films.
• ケイジョウ キオク ゴウキン ハクマク

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 47 (12), 1029-1030, 1996

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Sputtering
• Shape Memory Alloy
• Ti-Ni
• Micromachine

詳細情報

• CRID: 1390001204114177280
• NII論文ID: 10002257869
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.47.1029
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 4106784
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4106784
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles