イオンビームエッチング

• 吉田 哲久

• 平尾 孝

書誌事項

タイトル別名

• イオン ビーム エッチング
• イオンビーム利用の基礎と現状-5-イオンビームの応用-3-工業利用
• イオン ビーム リヨウ ノ キソ ト ゲンジョウ 5 イオン ビーム ノ オウ

収録刊行物

• Radioisotopes / 日本アイソトープ協会radioisotopes編集委員会 編

  Radioisotopes / 日本アイソトープ協会radioisotopes編集委員会 編 44 (9), p673-676, 1995-09

  東京 : 日本アイソトープ協会

詳細情報

• CRID: 1520853835190002944
• NII論文ID: 10002391771
• NII書誌ID: AN00351589
• ISSN: 00338303
• NDL書誌ID: 3623685
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3623685
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles