マイクロ波プラズマ化学気相合成法による薄膜型固体電解質燃料電池の特性

• 辰 知明

  大阪工業大学工学部電気工学科

• 長田 昭義

  大阪工業大学工学部電気工学科

• 岡山 英夫

  大阪工業大学工学部電気工学科

• 伊佐 弘

  大阪工業大学工学部電気工学科

書誌事項

タイトル別名

• Properties of SOFC Having MSZ Electrolyte Thin Film Grown by PECVD.
• マイクロハ プラズマ カガク キソウ ゴウセイホウ ニ ヨル ハクマクガタ コタイ デンカイシツゼンリョウ デンチ ノ トクセイ

抄録

Properties of magnesia stabilized zirconia (MSZ) electrolyte thin films for solid oxide fuel cells (SOFCs), which were grown by the plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) method, have been investigated on the microwave power dependencies and the anneal effect. MSZ thin films grown by microwave power of 500 W were found to be the columnar and closed electrolytes having a higher conductivity of 10^-3 S/cm. A SOFC having the annealed MSZ electrolyte thin films indicated a stable power generation property with 0.5 V although its value was reduced to lower half than the theoretical OCV of 0.915 V.

収録刊行物

• 真空

  真空 42 (3), 155-158, 1999

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390282679040383232
• NII論文ID: 10002476190
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.42.155
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 4714155
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4714155
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可