単一溶液原料を用いた化学気相成長法によるＭｎ添加（Ｂａ，Ｓｒ）ＴｉＯ３薄膜の合成

• 竹島 裕

  (株) 村田製作所 技術開発本部

• 田中 克彦

  (株) 村田製作所 技術開発本部

• 坂部 行雄

  (株) 村田製作所 技術開発本部

書誌事項

タイトル別名

• Preparation of Barium Strontium Titanate Thin Films by Liquid Source Chemical Vapor Deposition.
• タンイツ ヨウエキ ゲンリョウ オ モチイタ カガク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル Mn テンカ Ba Sr TiO3 ハクマク ノ ゴウセイ

抄録

Manganese-doped barium strontium titanate ((Ba, Sr) TiO₃) thin films were prepared on platinum coated magnesium oxide single-crystal substrates at 650°C by single liquid source chemical vapor deposition. These thin films showed a dielectric constant of 200 and a dielectric loss of 2% at 100 mV and 1 kHz. The leakage current of (Ba, Sr) TiO₃ films were decreased about three order of magnitude by Mn doping.

収録刊行物

• 真空

  真空 42 (3), 368-371, 1999

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390282679042105088
• NII論文ID: 10002476614
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.42.368
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 4716387
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4716387
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可