双極型静電チャックの内部電極の面積比が残留吸着力に及ぼす影響

• 菅野 誠一郎

  (株)日立製作所機械研究所

• 臼井 建人

  (株)日立製作所機械研究所

書誌事項

タイトル別名

• The Effect of Internal Electrode Area Ratio of Bipolar Type Electrostatic Chuck on Residual Chucking Force

収録刊行物

• 真空

  真空 42 (3), 419-, 1999-03

詳細情報

• CRID: 1571698599019398656
• NII論文ID: 10002476718
• NII書誌ID: AN00119871
• ISSN: 05598516
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles