磁性材料Fe, Co-Cr合金, 及びNi-Fe合金の反応性イオンエッチング

• 中谷 功

  科学技術庁金属材料技術研究所

書誌事項

タイトル別名

• Reactive-Ion Etching of Fe, Co-Cr Alloys or Ni-Fe Alloys

収録刊行物

• 日本応用磁気学会研究会資料

  日本応用磁気学会研究会資料 103 87-94, 1998-01-29

詳細情報

• CRID: 1571135649068203136
• NII論文ID: 10002521306
• NII書誌ID: AN00351217
• ISSN: 13407562
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles