アルミニウム配線のストレスマイグレーション

• 岡林 秀和

書誌事項

タイトル別名

• アルミニウム ハイセン ノ ストレスマイグレーション
• 特集 超高集積化デバイスでのアルミニウム配線材料の課題
• トクシュウ チョウ コウ シュウセキカ デバイス デ ノ アルミニウム ハイセ

収録刊行物

• まてりあ = Materia Japan

  まてりあ = Materia Japan 36 (6), 565-570, 1997-06

  仙台 : 日本金属学会 ; 1994-

詳細情報

• CRID: 1520853835286030336
• NII論文ID: 10002542191
• NII書誌ID: AN10433227
• ISSN: 13402625
• NDL書誌ID: 4237664
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4237664
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles