スパッタビーム法による薄膜の形成

• 島田 寛

• 岡本 聡

• 北上 修

Bibliographic Information

Other Title

• スパッタ ビームホウ ニヨル ハクマク ノ ケイセイ

Journal

• まてりあ = Materia Japan

  まてりあ = Materia Japan 36 (10), 1016-1020, 1997-10

  仙台 : 日本金属学会 ; 1994-

Details

• CRID: 1520853835262722560
• NII Article ID: 10002544068
• NII Book ID: AN10433227
• ISSN: 13402625
• NDL BIB ID: 4324320
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4324320
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles