ポリマー類の耐酸化エッチング加工のためのプラズマ重合被覆処理
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- 広津 敏博
- 物質工学工業技術研究所高分子化学部
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収録刊行物
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- Isotope news
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Isotope news 527 12-13, 1998-04-01
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1573668923857403904
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- NII論文ID
- 10002586851
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- NII書誌ID
- AN00002400
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- ISSN
- 02855518
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles