情報理論の電子光学系への応用--SEMの分解能,焦点深度の新しい評価法

• 佐藤 貢

• 中川 美音

書誌事項

タイトル別名

• ジョウホウ リロン ノ デンシ コウガクケイ エ ノ オウヨウ SEM ノ ブ

抄録

記事分類: 電気工学--電子工学--電子応用機器--電子顕微鏡

収録刊行物

• 電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編

  電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編 29 (2), p124-129, 1994

  東京 : 日本顕微鏡学会

詳細情報

• CRID: 1520853835225871616
• NII論文ID: 10002640268
• NII書誌ID: AN00153086
• ISSN: 04170326
• NDL書誌ID: 3904984
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3904984
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles