LSI特定箇所の断面TEM試料作製技術

• 朝山 匡一郎

• 荒川 史子

書誌事項

タイトル別名

• LSI トクテイ カショ ノ ダンメン TEM シリョウ サクセイ ギジュツ

収録刊行物

• 電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編

  電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編 32 (1), 44-47, 1997-03

  東京 : 日本顕微鏡学会

詳細情報

• CRID: 1520290885263387136
• NII論文ID: 10002641212
• NII書誌ID: AN00153086
• ISSN: 04170326
• NDL書誌ID: 4193663
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4193663
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles