ガスフロースパッタ法による超微粒子分散膜の作製

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タイトル別名
  • Preparation of a film containing foreign fine particles by gas-flow-sputtering

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  • CRID
    1570291224136374144
  • NII論文ID
    10002646776
  • NII書誌ID
    AN10269644
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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